| 類型 | 型號 | 厚度/um | 分辨/um | 工藝應(yīng)用 |
| 電子束光刻膠 | HSQ | 30nm-950nm | <10 | 極佳分辨率電子束負(fù)膠，抗刻蝕 |
| 520 | 50nm-1um | <10 | 高分辨率電子束正膠，抗刻蝕 | |
| EBL 6000系列 | 100nm-500nm | <100 | 電子束負(fù)性光刻膠 | |
| ma-N2400系列 | 100nm-1.5um | <100 | 電子束負(fù)性光刻膠 | |
| PMMA/MMA (國產(chǎn)/進(jìn)口) | 多種分子量、固體含量組合 | 雙層膠工藝 | ||
| AR-P 6200 | 100nm-700nm | <10 | 高分辨率電子束正膠 | |
| 以上厚度均為單次涂覆厚度；分辨率一般為極限分辨率。 | ||||
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